针对特定应用的定制解决方案

为了确保镀膜工艺的成功和可重复性，我们开发了一个可旋转、可加热的基材台，从而可实现良好的均匀性和镀膜质量。

为了满足您的不同需求，我们提供了由三个主要版本组成的模块化系统：

• 基本型
• 高级型
• 全功能型

我们可以从中推导出 576 种可能的版本！

模块化系统

基于其模块化原理，TWISTER™ 基材台是一种典型的可升级设备，仅在添加真空进样室时需要额外的气动夹具。如果需要冷却，只需将加热板更换为加热和冷却组合板即可。

精准操控，获得精确结果

• 通过精确旋转基材，获得均匀一致的薄膜
• 可选的 Z-shift，用于调整基材与镀膜源的距离，并用于真空进样室转移
• 基材板灵活可调，直径可达 6 英寸
• 通过加热至 400 °C 改善镀层质量
• 可选水冷却：
• 易于更换的镀膜护罩，便于清洁
• 包含位置控制
• 可对大多数现有实验室镀膜设备进行升级